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锆钛酸铅镧薄膜（PLZT）晶圆

上海奥麦达微提供PZT/PLZT薄膜晶圆，我司的PZT/PLZT薄膜是一种具备超强电光效应的材料，电光系数为LiNbO,的6倍。同时PZT兼具非线性效应、声光效应、压电效应。

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我司研发的PZT薄膜(JuheR)为准单晶形态，不仅拥有良 好透光性，更重要的是具备超强电光效应，耐温超过600度。

应用场景：电光调制器、光开关、光学陀螺、声光器件、光学MEMS等

前沿薄膜材料对比

* 表中“电光系数”全部为在电光调制器中的实测值

* 调制器驱动电压Vπ 、功耗P与电光系数r的关系：Vπ ∝ 1/r，P ∝ 1/ r2 

* PZT透光范围大，可用于AR/VR、可见光雷达，这是硅无法实现的

PZT/PLZT薄膜刻蚀代加工