离子束溅射镀膜_镀膜_微纳加工服务_上海奥麦达微电子有限公司

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离子束溅射镀膜

离子東溅射:

该设备具有极高的沉积精度，主要用来沉积氧化物薄膜，被用来生产高精度的光学介质膜滤光片。

支持尺寸:4寸