铌酸锂光波导流片
很高兴您在这个网页看到了我们的铌酸锂波导的加工服务
关于铌酸锂波导的加工，目前我们提供2种加工服务。
A.电子束光刻加工光波导
优势：可以实现100nm以内波导线宽
缺点：单次加工仅出一片，性价比低
B.6寸150nmDUV流片线
优势：性价比高，一次流片可以出一个晶圆
片源尺寸：6inch
线宽：大于180nm
刻蚀深度：300nm+-10nm/600nm
套刻误差：+-50nm
LN侧壁倾角：70°
高速Cu电极：Ti/Cu 3dB带宽50Ghz
6inch 24 shots全开窗加工
LN MOD带宽>60Ghz
光栅耦器损耗：8dB
交叉波导损耗：0.02db/个
光栅耦合器损耗：8dB
交叉波导损耗：0.02db/个
定向耦合器
All-Pass微环Q值：1e6
1×2MMI插损<0.2dB
