上海奥麦达微电子有限公司

专业高效
微纳加工公司

DOE光学元件

我们可以提供DOE光学元件的加工 

*DOE分束器

*DOE光斑整形器

*螺旋相位板

我们有两种制造DOE(衍射光学元件)的方法:

方法一:电子束光刻/步进式光刻机 + 刻蚀 —— 获得材料结构 —— 用于批量生产或高功率应用。

方法二:灰度光刻 —— 获得光刻胶结构 —— 用于样品或测试。





Type1:多焦点光斑整形DOE

2*2光斑分束器

十字光斑分束器

1*1光斑分束器

环形光斑分束器


环状光斑整形器



螺旋相位板

Simulation:                                        Real Test:


平顶光整形器


关于我们

OMeda(上海奥麦达微)成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合,键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学,激光器,光子集成电路,Micro LED,功率器件等行业。

姓名:*
邮件:*
公司名称:
电话:*
您的需求: