衍射光栅加工
上海奥麦达微提供 衍射光栅加工 ，我们可以提供多种类型的衍射光栅加工
依照线宽分类
150nm以内线宽衍射光栅加工：EBL-电子束直写光刻/纳米压印
说明：如果只做一个样品，可以电子束直写，如果需要多个样品，可以先电子束直写做母版，然后用母版去做纳米压印，然后刻蚀得到多个样品
总价格和曝光面积有关系，曝光面积越大价格越贵，举例：25*16，差不多要 29万，1*1要 2万多，4*4要3万多
180nm-3um线宽衍射光栅加工：DUV-6寸步进式光刻加工
说明：一次性可以得到一个6寸晶圆，可以切成25个20*20的单颗芯片，具有较高的性价比
3um及以上线宽：接触式光刻加工
加工
