论文 :"Titanium:sapphire-on-insulator integrated lasers and amplifiers"作者:JoshuaYang1,3,KasperVanGasse1,2,3,DaniilM.Lukin1,3,MelissaA.Guidry1,GeunHoAhn1, AlexanderD.White1&JelenaVučković1 ✉单频激光阵列(功率> 10 mW,线宽 < 5 kHz)超低损耗 UV 和可见光子学
波导传播损耗:
780 nm: < 1 dB/m
400 纳米: < 10 dB/m
ALOOI晶圆;--氧化铝薄膜晶圆,键合工艺和镀膜工艺
TAOOI晶圆--氧化钽薄膜晶圆,镀膜工艺
SINOI晶圆;--超低损耗氮化硅薄膜晶圆,
SICOI晶圆;新型量子光学平台
6寸LTOI晶圆批量供应;铌酸锂的有力的竞争对手,薄膜钽酸锂晶圆
8寸LNOI晶圆;8寸LNOI助力更大规模薄膜铌酸锂产品量产
LN/LT-SOI/Si/SIN W2W&D2W异质集成
流片: 6寸 氮化硅 铌酸锂 硅光 超高性价比流片, 1个BLOCK的价格买一整片晶圆
划重点--全国产-超高性价比-6 寸硅光-氮化硅-铌酸锂流片白皮书