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前文小编分享了一篇文章:熔融石英玻璃的压型和熔融石英玻璃的打印成型,前面小编对这几种技术的分类有特别清楚的认知,后来在和朋友的交谈中这些有了一个印象,后来随着理解深入,对这块技术有了系统的认识,同时小编也把自己三十年的功力,浓缩成几百字和几张图分享给大家。(本文小编只分享基本的原理和工序流程,不严谨的地方自己看文章学习,下文最先是小编的文章分析)
划重点(双光子3D打印设备和代工)
*国产双光子3d打印设备
*双光子3d打印代工(普通树脂胶水<国产/nanoscribe ips ipdip>)
*双光子3d打印代工(光固化+烧结石英玻璃成型)
*热固化石英玻璃成型(热固化+烧结石英玻璃成型)
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熔融石英玻璃的成型技术分类和优缺点
熔融石英玻璃的成型,分为石英玻璃直接压型和利用含sio2光刻胶先初固化,然后再进行烧结成型。这里面需要指出的是sio2胶水的固化又分为两种工艺,通过双光子打印固化,和通过模具热压固化。
这三种的工艺,无论是热压固化,直接压型,还是光刻固化,抑或者固化后的烧结,精准的计算出每一道工艺的形变量,才能最后得到想要的结果,因此,工艺的摸索是至关重要的。
1.胶水通过光固化+然后石英玻璃烧结成型
基本原理 :
步骤1:将含sio2超微细粉末的双光子聚合胶水涂抹在软化点高于石英玻璃上
步骤2:采用双光子3d打印机将结构打印出来并显影(利用飞秒激光初固化)
步骤3:在600度高温下除去聚合的粘合剂基质,
步骤4:将光固化过后的结构放入高温烧结炉中烧结(1300°C)(利用高温使sio2粉末烧结成真正的石英玻璃)
结果:得到想要的石英玻璃结构
特点:效率低,但是可以打印 复杂结构,微纳结构
市场化进度:/
2.胶水通过热固化+然后石英玻璃烧结成型
步骤1:制造模具
步骤2:在模压机中将胶水模压成想要的结构,并且通过热固化(600°C)的方式初步固化
步骤3:将=热固化过后的结构放入高温烧结炉中烧结(1300°C)(利用高温使sio2粉末烧结成真正的石英玻璃)
结果:得到想要的石英玻璃结构
特点:通过这种方式制作的结构,受限于模具加工的精度和形状,适合简单结构,比如光学透镜等(目前大家主要用这种技术生产复眼透镜和石英玻璃透镜),由于通过模具来热固化,具有相对较好的量产效率。
市场化进度:已有公司将此产品带向市场
3.石英玻璃高温加热模压成型
步骤1.制造模具,值得点出的是,通过直接高温模压石英玻璃成型的技术,对模具的材质提出了极高的要求,模具的材料需要为非晶碳材质,由于石英玻璃的软化点达到1000度+,因此常规的SiC,WC,已经满足不了石英玻璃模压的需求。但是目前遇到的困境是,即使已经采用了非晶碳做为模具材料,模具加工困难,以及在高温下稳定工作,模具极易损坏时目前还未解决的问题。
步骤2.模压成型(1350°C)
特点:量产效率高,成本相对较低,但是 模具的加工,以及模具的耐用性是目前遇到的问题点。
市场化进度:受限于此技术的难度,目前较少企业掌握。
关于我们:
OMeda成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合)等领域拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验,为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务
中国(上海)自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室 电话:+86 188 233 40140 邮箱:jing.chen@omeda-optics.com
来源:OMeda
OMeda(上海奥麦达微)成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合,键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学,激光器,光子集成电路,Micro LED,功率器件等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验,为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务。