我单位近期做了很多离子注入+快速退火 RTP +表面电阻四探针测试的加工服务 ，因此汇总加工能力给各位，，方便做参考
离子注入
设备：日本日新设备--效果棒棒的
加工能力：
尺寸：0-12寸
材料：任意
厚度:小于1.3mm
其他：5~250keV; H, He, P etc.
铒注入加工
设备1
#注入剂量和能量500KeV Xe15cm2
#最大尺寸6寸支持小片
#周期18天（国外加工）
设备2
#最大能量2MeV 最大剂量跟注入时间有关系
#衬底可加热至500度
#工艺成熟度：高
#最大尺寸6-6mm
#周期7天(国内加工）
能提供MeV级Fe、Ni、Cu、V、Ti、Mo、Zr、Mg、Al、Si、Au、Ag、N、O等元素的离子束，温度室温 - 800℃
其他注入
离子注入：
固态源：镍 铝 铜 铁 锆 锌 猛 钛 铬 银 镁 锡 铅
气态注入：B,P,F,Al,N,Ar,H,Si,As,O,He
6寸 8寸的
镍 铝 铜 铁 锆 锌 猛 钛 铬 银 镁 锡 铅 金属离子注入
RTP：快速热退火/炉退火
加工能力：
支持尺寸：4-8寸
设备能力：
最高加热温度：1300℃
最大升温速率：150℃/s
温度均匀性：±1%
升降温速率：10-20度
工艺气路：N2、O2、Ar
极限真空：4x10-2mbar
Rs表面电阻四探针测试：Max12inch
关于我们：
OMeda成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。目前拥有员工15人，在微纳加工（涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合）等领域拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。
中国（上海）自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室 电话：+86 188 233 40140 邮箱：jing.chen@omeda-optics.com
来源：OMeda
OMeda（上海奥麦达微）成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合，键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学，激光器，光子集成电路，Micro LED,功率器件等行业。
