上海奥麦达微电子有限公司

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近化学计量⽐ 钽酸锂(NSLT)晶⽚

近化学计量⽐ 钽酸锂(NSLT)晶圆


切向X-Z ;Z-X

直径76.2±0.2mm100.0±0.2mm150.0±0.2mm
主基准⾯⻓度(OF)22±2mm32±2mm47.5±2mm
第⼆基准⾯根据客户要求而定

厚度180~250±20μm, 350±20μm, 500±20μm

翘曲度(WARP)<25μm

弯曲度(BOW)-25μm<BOW<25μm

PLTV>95%(5mm*5mm)

TTV<5μm

表⾯缺陷数量(直径<0.3μm)<500个

应⽤领域非线性光学和畴工程






近化学计量比钽酸锂(NSLT)晶片光学基本性能指标:

性能同成分LiTaO(CLT)化学计量比LiTaO(NSLT)
居⾥温度(℃)605701
Li/T48.5/51.549.9/50.1
线性电光系数 @λ=632.8nm(pm/V)r13=8.0 r33=32.2r13=8.1 r33=35.5
⾮线性光学系数 @λ=1064nm(pm/V)d13= 2.3 d33=26.2d13= 2.5 d33=30.4
矫顽场(室温)KV/m m~21<0.6











关于我们:

OMeda成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合)等领域拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验,为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务

中国(上海)自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室 电话:+86 188 233 40140 邮箱:jing.chen@omeda-optics.com

来源:OMeda

关于我们

OMeda(上海奥麦达微)成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合,键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学,激光器,光子集成电路,Micro LED,功率器件等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验,为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务。

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