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近化学计量⽐ 钽酸锂(NSLT)晶圆
切向 | X-Z ;Z-X | ||
直径 | 76.2±0.2mm | 100.0±0.2mm | 150.0±0.2mm |
主基准⾯⻓度(OF) | 22±2mm | 32±2mm | 47.5±2mm |
第⼆基准⾯ | 根据客户要求而定 | ||
厚度 | 180~250±20μm, 350±20μm, 500±20μm | ||
翘曲度(WARP) | <25μm | ||
弯曲度(BOW) | -25μm<BOW<25μm | ||
PLTV | >95%(5mm*5mm) | ||
TTV | <5μm | ||
表⾯缺陷数量(直径<0.3μm) | <500个 | ||
应⽤领域 | 非线性光学和畴工程 | ||
近化学计量比钽酸锂(NSLT)晶片光学基本性能指标:
性能 | 同成分LiTaO3(CLT) | 化学计量比LiTaO3(NSLT) |
居⾥温度(℃) | 605 | 701 |
Li/T | 48.5/51.5 | 49.9/50.1 |
线性电光系数 @λ=632.8nm(pm/V) | r13=8.0 r33=32.2 | r13=8.1 r33=35.5 |
⾮线性光学系数 @λ=1064nm(pm/V) | d13= 2.3 d33=26.2 | d13= 2.5 d33=30.4 |
矫顽场(室温)KV/m m | ~21 | <0.6 |
关于我们:
OMeda成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合)等领域拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验,为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务
中国(上海)自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室 电话:+86 188 233 40140 邮箱:jing.chen@omeda-optics.com
来源:OMeda
OMeda(上海奥麦达微)成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合,键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学,激光器,光子集成电路,Micro LED,功率器件等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验,为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务。