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声表⾯波⽤ ⾼锂钽酸锂（HLT）晶⽚
| 切向 | Y36°-X ；Y42°-X | ||||||||
| 直径 | 76.2±0.2mm | 100.0±0.2mm | 150.0±0.2mm | ||||||
| 主基准⾯⻓度（OF） | 22±2mm | 32±2mm | 47.5±2mm | ||||||
| 居⾥温度 | 675±5℃ | ||||||||
| 第⼆基准⾯ | 根据客户要求而定 | ||||||||
| 厚度 | 180~250±20μm, 350±20μm | ||||||||
| 翘曲度(WARP) | <25μm | ||||||||
| 弯曲度(BOW） | -25μm<BOW<25μm | ||||||||
| TTV | <5μm | ||||||||
| PLTV（LTV<1μm) | >95%(5mm*5mm) | ||||||||
| 正⾯粗糙度（Ra) | <1nm | ||||||||
| 背⾯粗糙度(Ra) | GC1000#及客户定制 | ||||||||
| 表⾯缺陷数量（直径<0.3μm) | <500个 | ||||||||
应⽤领域 | 对温度稳定性和机电耦合系数有特殊要求的声表面波器件 | ||||||||
声表面波高锂钽酸锂晶片（HIGT Li LiTaO3; HLT)声学基本性能指标：
| 切向 | Y36° | Y36° | |
| 波传输⽅向 | X | X | |
| 机电耦合系数（％） 温度漂移系数（ｐｐｍ/℃） | 9.6 | 11.2 | |
| 温度漂移系数（ｐｐｍ/℃） | -12 | -18.3 | |
| 声表⾯波波速（ｍ/ｓ） | 4196 | 4078 | |
关于我们：
OMeda成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。目前拥有员工15人，在微纳加工（涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合）等领域拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验，为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务
中国（上海）自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室 电话：+86 188 233 40140 邮箱：jing.chen@omeda-optics.com
来源：OMeda
OMeda（上海奥麦达微）成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。目前拥有员工15人，在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合，键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学，激光器，光子集成电路，Micro LED,功率器件等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验，为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务。
