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硅28外延片--量子计算用超纯硅:完整指南

#硅28 #硅29 #超纯硅
摘要:目前,在全球各地的专业设施中,技术人员正在制造人类史上最完美的硅晶体。这些晶体并不是为最新款的智能手机或笔记本电脑而生产的——它们是为那些能够解决仅仅十年前还被认为不可能的问题的机器奠定基础。超纯硅-28,经过99.99%及以上同位素纯度的富集,已成为推动实用量子计算的关键材料。
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文章名:Ultra-Pure Silicon For Quantum Computing: The Complete Guide
作者:Brian D. Colwell

介绍
量子计算行业正处于一个转折点。包括IBM、Intel和Google在内的主要公司正在竞相构建商业化可行的量子处理器。基于硅的量子比特(qubits)已展示出超过一秒钟的相干时间,比早期原型提高了百万倍。这一突破直接源于同位素纯化,将硅从量子计算的薄弱环节转变为其最强大的资产。

对于工程师、研究人员和投资者来说,了解超纯硅已变得至关重要。本指南提供了在这一快速发展的领域中所需的技术知识和实践见解。无论您是在设计量子设备、评估供应商,还是分析市场机会,这里提供的信息将帮助您做出明智的决策。

超纯硅的商业前景
数字背后讲述了一个引人注目的故事。2023年,全球量子计算市场的价值为8.66亿美元,预计到2030年将达到86亿美元。基于硅的量子计算机有望占据该市场的30-40%,创造20-30亿美元的机会。对于超纯硅供应商来说,这意味着到十年末潜在的年收入将达到2-5亿美元。

但量子计算仅仅是开始。功率电子制造商发现,富集同位素硅具有优异的热导性——150 W/m·K,相比之下自然硅为130 W/m·K——使得设备更加小型化、高效化。使用富集硅的电动汽车逆变器可实现5-10%的效率提升,节省数十亿美元的能源成本。数据中心通过使用同位素增强的处理器,可将冷却成本降低15-20%。

推动应用的技术优势
超纯硅-28提供了可量化的性能提升:

  • 量子相干性:量子比特寿命延长1000倍(毫秒对比微秒)

  • 热管理:功率设备的热散逸性能提高15%

  • 光学性能:光子学领域的自由载流子吸收降低30%

  • 频率稳定性:基于硅的原子钟精度提高10倍

这些并非理论上的优势——它们是实际运行设备的测量结果。Intel的Horse Ridge II低温控制芯片利用同位素纯度实现稳定操作。SiQure的量子处理器使用99.99%的硅-28基板,达到了创纪录的相干时间。这些早期的成功验证了技术并指向更广泛的应用。

实施的实际路径
开始使用超纯硅需要理解三个关键因素:

  1. 规格要求
    不同的应用需求不同的纯度水平。量子计算通常需要99.99%硅-28或更高纯度。功率电子设备可受益于99%的富集。光子学应用通常使用99.9%的材料。过度规定会浪费资金;不足规定则会影响性能。

  2. 供应链现实
    目前全球99.99%硅-28的生产能力约为每年500公斤。交货期从3到8个月不等。根据体积和规格,价格从每千克10,000美元到50,000美元不等。现在建立供应商关系,可确保随着需求增长时的供应。

  3. 集成挑战
    超纯硅可以通过最小的修改融入现有半导体工艺。然而,防止再污染需要专用工具或彻底的清洁协议。质量验证要求专门的计量仪器。规划这些要求可以避免昂贵的延误。

市场动态与机会
超纯硅市场呈现出典型的新兴技术特征。早期采用者支付高价,但获得竞争优势。随着生产规模的扩大,成本将随着可预测的学习曲线下降。历史上类似的例子有——1960年,半导体级硅的价格为每千克1000美元,但到1980年,通过规模化和工艺改进降至每千克20美元。

当前的市场动态有利于垂直整合。控制同位素富集和设备制造的公司能够捕获最大价值。然而,服务于多个市场的专业供应商通过更高的利用率可能实现更好的经济效益。最佳策略取决于资本的可用性、技术专长和风险承受能力。

前进的路径
超纯硅不仅代表着渐进式的改进——它使得根本性的计算能力成为可能。随着生产规模的扩大和成本的下降,应用将扩展到量子计算以外的主流电子产品。那些现在就定位的组织将从这场变革中受益。

成功需要在多个领域采取行动:确保供应链的稳定、开发集成专长、以及建立应用知识。本指南为这些努力提供了基础。量子时代需要具有非凡纯度的材料。对于那些准备迎接这一挑战的人,非凡的机会正在等待。

超纯硅的完整指南
硅从沙滩砂到量子基板的转变,代表了材料科学中最引人注目的转变之一。自然硅在地壳中丰富,包含了多种同位素,这些同位素在大多数应用中似乎足够。然而,量子计算要求达到前所未有的纯度水平,这推向了物理和经济可实现性的边界。超纯硅-28的追求已成为推动基于硅的量子处理器规模化的关键瓶颈,推动了同位素分离、表征和制造方面的创新,这些创新可能重塑半导体供应链。

硅同位素纯度的重要性源自硅同位素之间一个微妙但至关重要的差异。硅-28约占自然硅的92%,其具有零核自旋——使其在磁学上“沉默”。而硅-29占自然硅的约5%,其带有核自旋,像微小的磁铁散布在晶体中。这些磁矩会产生波动的磁场,干扰用作量子比特的电子自旋的微妙量子态。通过将硅富集到99.99%或更高的硅-28含量,研究人员可以创造一个异常安静的磁环境,使得量子信息能够持续数秒,而非微秒。

现在,让我们解答关于超纯硅的所有问题!

1. 硅同位素纯化的物理极限是什么?我们离实现99.9999%纯度的硅-28还有多远?

硅同位素纯化的物理极限由硅同位素之间的微小质量差异以及分离过程的基本热力学原理所决定。硅-28和硅-29之间的差异仅为一个中子质量,大约是它们总质量的3.5%。这个微小的差异意味着任何分离技术必须具备极高的选择性才能达到高纯度。理论上,同位素分离的极限由分离态和混合态之间的吉布斯自由能差异决定,而这一差异会随着纯度的提高呈对数增加。这意味着,每增加一个“九”(例如从99.9%到99.99%),需要的能量和处理时间将呈指数级增长。

当前最先进的同位素纯化技术已达到99.9984%的硅-28纯度,残余的硅-29浓度低于50百万分之一(ppm)。这一成果是通过将硅四氟化物(SiF4)气体离心分离和随后的化学气相沉积相结合实现的。离心分离过程利用28SiF4和29SiF4分子之间的质量差异,通过级联数千个离心阶段实现逐步富集。每个阶段只提供约1.003的小富集因子,因此需要庞大的级联基础设施。

实现99.9999%纯度(每百万硅-29一个)面临着几个根本性的挑战。首先,化学处理过程中的同位素扰动可能会重新引入硅-29的污染。即使是来自反应堆壁或前体杂质的微量自然硅,也能显著降低纯度。其次,在如此低的硅-29浓度下,测量不确定性接近污染水平,这使得质量控制极为困难。质量谱技术在分辨实际硅-29和分子干扰物时面临困难,尤其是在百万分之一的水平。

最近,离子注入和外延生长方面的突破为实现极致纯度开辟了新途径。通过使用富同位素的硅烷(28SiH4)作为前体,在超高真空腔体中进行外延生长,并利用富同位素的硅壁,研究人员最小化了再污染的风险。物理极限似乎在99.9999%的纯度左右,在此水平,进一步分离的能量成本超过了对量子比特相干性的实际益处。在这个纯度水平,其他去相干机制(如电荷噪声和声子相互作用)变得主导,从而使得进一步的同位素纯化变得不必要。

2. 自然硅与富同位素硅-28在自旋相干性与电荷噪声方面的权衡是什么?

选择自然硅和富同位素硅-28之间涉及多个去相干机制的复杂优化。在自然硅中,硅-29的核自旋扩散会产生波动的磁环境,从而将电子自旋相干时间限制在通常的10-100微秒范围内,这取决于典型的工作条件。这个磁噪声遵循低频的1/f谱,产生的慢波动对量子门操作尤为有害。然而,自然硅的优势在于其即时可用、成本低(大约每千克2美元)并且与现有的半导体基础设施兼容。

富同位素的硅-28大幅抑制了磁噪声,将电子自旋相干时间延长到毫秒甚至秒级,在最佳条件下可达到千倍的相干时间提升。这一改进直接转化为可以在去相干摧毁量子信息之前执行的量子操作数量。例如,对于典型的两比特门操作时间为100纳秒的情况,使用自然硅可能只能支持100到1000次操作,而富同位素硅则能够支持1000万次操作——突破了量子误差纠正的实际门槛。

然而,通过同位素纯化去除磁噪声,揭示了其他去相干机制,尤其是电荷噪声。电荷噪声源自由界面、氧化层或无定形材料中的二能级系统的带电缺陷引起的电场波动。在自然硅中,电荷噪声的影响通常被磁噪声掩盖,但在富纯硅-28中,电荷噪声成为量子点量子比特的限制因素。电荷噪声的功率谱密度通常遵循1/f^α行为,其中α ≈ 0.7-1,表明电荷缺陷的开关速率分布。

自旋噪声和电荷噪声之间的相互作用促使了有趣的优化策略。对于在“甜点”区域操作的量子点来说,在该区域量子比特频率对电场波动不敏感,富硅-28具有明显的优势。然而,对于交换耦合量子点来说,其相互作用强度依赖于电场,电荷噪声即使在富硅材料中也能占主导地位。这促使采用适度富集(99.9%硅-28)的方法,在提升相干性的同时考虑电荷噪声和成本。

最近的实验揭示,最佳的富集水平与量子比特的实现方式密切相关。对于在硅体内的供体量子比特,电荷噪声自然得到抑制,极端同位素富集(99.99%或更高)提供了最大益处。而对于表面量子点来说,来自界面态的电荷噪声占主导地位,超过99.9%的富集效果递减。这表明一个细分市场的策略,其中不同的应用可能需要不同等级的同位素富集。

3. 残留硅-29核如何影响量子相干时间,不同温度区间下的去相干机制如何主导?

残留的硅-29核通过多种不同机制创造了复杂的噪声环境。主要影响是谱扩散,在该过程中,硅-29核自旋的随机翻转会在量子比特位置产生一个随时间变化的磁场。这个过程通过核偶极-偶极相互作用介导,典型的相互作用强度为10-100 Hz,发生在相邻核之间。由此产生的磁场波动具有由核自旋翻转速率决定的特征相关时间,在毫开尔文温度下,通常为毫秒到秒级。

硅-29引起的去相干的温度依赖性揭示了不同的温度区间。在100毫开尔文以下,核自旋动力学被冻结,硅-29浴相当于一个静态的不均匀磁场。在这个区间,电子自旋回声技术可以有效地重新聚焦静态场的变化,将相干时间延长至由核谱扩散限制的极限。回声衰减遵循特征的exp[-(t/T2)^n]形式,其中n ≈ 2-3,取决于硅-29的浓度和空间分布。

在100毫开尔文到1开尔文之间,热激活使得通过核偶极相互作用发生核自旋扩散。扩散常数随着温度的升高而变化,D ∝ T^(-1),这是因为温度升高时核极化减少。这创造了一个最佳的操作温度区间,大约在100-200毫开尔文,核动力学足够慢以进行重新聚焦,但又足够快以平均化不均匀性。矛盾的是,适中的温度可以比低温操作提供更长的相干时间。

在1开尔文以上,声子介导的过程开始主导去相干。允许跃迁的声子吸收和发射过程与温度成正比,而拉曼过程的比例则与温度的三次方成正比。由于硅的高德拜温度(645 K)和晶体的反转对称性,硅中的电子-声子耦合相对较弱。然而,来自制造结构的应变场和热膨胀不匹配可以增强电子-声子耦合,尤其是在接近界面的量子点。

在液氦温度(4.2 K)及以上,电子跨带隙或来自掺杂水平的热激发引入了额外的去相干通道。硅中固有的载流子浓度在100 K以下保持可忽略不计,但浅层供体和受体的电离可以创建波动的电荷环境。这为硅量子设备设定了一个实际的上限温度,大约在1-4 K之间,具体取决于掺杂水平和设备架构。

不同去相干机制之间的交叉提供了优化操作条件的机会。例如,在高富集硅中,在1-2 K的较高温度下操作,实际上可以通过加速操作同时保持足够的相干性,从而提高量子门的保真度。这个“热量子比特”区间可能显著减少冷却要求,并增加硅量子计算机的经济可行性。

4. 目前生产硅-28同位素纯度的工业工艺是什么?在大规模生产中,产率和成本如何?

超纯硅-28的工业生产已经从实验室研究演变为由量子计算需求驱动的试点规模操作。主流的生产工艺从自然硅开始,通过与氟反应将其转化为四氟化硅气体(SiF4)。这种气态形式便于通过气体离心进行同位素分离,这项技术最初是为铀富集开发的,但已被改造用于较轻的元素。硅的离心级联在更高的转速下(通常为50,000-100,000 RPM)操作,以弥补同位素之间较小的质量差异。

典型的生产设施由成千上万台离心机组成,这些离心机按级联方式排列,每个阶段提供渐进的富集。初期阶段处理大量的自然丰度SiF4,逐步浓缩硅-28,同时减少硅-29和硅-30的含量。级联设计遵循Cohen等人提出的理论,优化离心机在各个阶段的分布,以最小化所需的分离工作量。对于99.99%的硅-28生产,每千克产品大约需要3,000到5,000个分离工作单位(SWU)。

接下来,富集的SiF4需要通过化学气相沉积(CVD)或还原过程转化为元素硅。西门子工艺,涉及三氯硅烷的氢还原,已被改造用于同位素纯度生产。在这些化学转换过程中,必须小心防止同位素污染。专用反应器,配有同位素纯净的硅衬底和超纯前体材料是必不可少的。从SiF4到最终硅的转化产率通常在70%到85%之间,损失发生在化学转换和纯化步骤中。

目前,99.99%硅-28的生产成本范围为每千克10,000到30,000美元,具体取决于规模和纯度要求。成本细分包括:离心机操作(占40-50%)、化学转换(占20-30%)、质量控制与表征(占10-15%)以及设施摊销(占15-25%)。离心级联的高资本成本——通常每个生产规模的设施需要1亿到5亿美元——创造了巨大的进入壁垒和规模经济。

当前设施的年产率在10到100千克之间,受限于离心机的容量和市场需求。理论上,生产速度的上限由离心机的数量及其各自的分离能力决定。假设有5,000台离心机,每台年分离能力为100 SWU,理论上可以生产100-150千克/年的高度富集硅-28。然而,由于维护要求、级联优化和尾流处理,实际产率较低。

为了降低成本并提高产率,正在探索替代生产方法。激光同位素分离,使用选择性光电离硅-29,承诺提供更高的分离因子,但在规模化工业化时面临挑战。等离子分离技术利用离子质量依赖的回旋共振,但需要大量的能量输入。采用超音速喷嘴中的气动分离的新兴方法在中等富集水平下显示出潜力,但难以达到量子计算所需的极高纯度。

5. 超纯硅衬底的集成如何影响现有CMOS制造工艺和工具?

将超纯硅集成到现有CMOS制造线上,既带来了机会,也带来了挑战。标准CMOS工艺是为自然硅晶圆设计的,具有良好表征的热学、机械和电学性能。而硅-28同位素纯度在某些方面表现出微妙但重要的差异:由于减少了同位素散射声子,热导率提高了大约10%;机械性能略有变化,弹性常数也有所不同;由于通道效应,一些离子注入轮廓也有所不同。

使用硅-28衬底时,热处理步骤需要重新校准。增强的热导率导致温度升高速度更快,并且晶圆上的加热更加均匀。这可以改善工艺均匀性,但需要调整快速热退火(RTA)工艺。氧化速率几乎不受同位素的影响,但掺杂剂激活和硅化物形成的热预算必须得到优化。硅-28和自然硅之间的比热差异(约0.3%)对于大多数工艺来说可以忽略不计,但在精确的热建模中变得至关重要。

离子注入是CMOS制造中的关键步骤,它显示出可测量的同位素效应。注入离子沿晶体学方向的通道效应依赖于晶格原子的热振幅,而硅-28和硅-29之间有所不同。这导致硅-28的注入轮廓略深,因此需要调整剂量和能量以实现目标掺杂轮廓。标准的次级离子质谱(SIMS)分析技术在测量掺杂分布时必须考虑同位素效应,尤其是在溅射速率和次级离子产率上。

最重要的挑战可能是防止加工过程中的同位素污染。标准的CMOS工具通常处理成千上万的自然硅晶圆,这可能会通过交叉污染、残留薄膜和颗粒生成等方式引入硅-29污染。因此,必须使用专用工具或彻底的清洁协议来保持同位素纯度。这在外延生长反应器中特别重要,因为即使是反应室壁或气体管道中的微量污染物,也会降低生长层的同位素纯度。

质量控制计量必须得到加强,以验证整个制造过程中的同位素纯度。标准的技术,如椭圆偏振仪和四探针测量,无法区分同位素,因此需要专门的质谱或核磁共振技术。在线监控同位素纯度增加了制造过程的复杂性和成本。一些晶圆厂已经实现了专用的计量站,配备飞行时间SIMS或激光烧蚀质谱技术,用于快速的同位素分析。

超纯硅处理的经济模型与标准CMOS大不相同。标准的300mm晶圆成本为100-200美元,而超纯衬底的价格可能达到10,000-50,000美元每个。这使得经济学更倾向于较小的晶圆尺寸(100-200mm),并要求精心的工艺优化以最大化产率。高衬底成本也有利于SOI(硅-绝缘体)架构,在这种架构中只需要薄层的超纯硅,相较于大块衬底,可能将材料成本降低90%。

6. 验证晶圆级同位素纯度需要哪些质量控制和表征技术?

验证晶圆级的同位素纯度需要一套复杂的分析技术,每种技术都有其特定的优缺点。次级离子质谱(SIMS)已经成为常用的技术,提供具有同位素选择性的深度剖析能力。动态SIMS能够检测到硅-29的浓度,甚至达到每亿分之一(ppb)级别,尽管在极高纯度水平下,需要用同位素标准进行精确校准。主要的离子束(通常是Cs+或O2+)会从晶圆表面溅射材料,次级离子通过质谱分析。

SIMS分析的挑战在于分子干扰和仪器背景。在极高纯度水平下,28SiH+离子可能会干扰29Si+的检测,因此需要高质量的质量分辨率或通过反应气体充气来抑制氢化物的形成。此外,裂缝边缘效应和优先溅射可能会在同位素剖面中产生伪影。飞行时间SIMS提供了更好的质量分辨率,并能够平行检测所有同位素,但通常其检测限比磁性部门仪器高。

核磁共振(NMR)提供了一种非破坏性的替代方案,用于批量同位素分析。29Si NMR直接检测硅-29的核自旋,信号强度与同位素丰度成正比。然而,由于29Si的自然丰度低且旋磁比小,因此灵敏度较差,需要较长的采集时间或样品的同位素富集。固态NMR配合魔角旋转可以解决晶体中不同硅环境的问题,可能在特定区域检测到同位素污染。

中子激活分析提供了对微量同位素检测的卓越灵敏度。热中子辐照将30Si转化为31Si(β辐射源,半衰期为2.62小时)和29Si转化为30Si,通过随后的放射性衰变提供定量分析。该技术可以在亚百万分之一(ppm)级别检测到硅-30,并验证是否存在重同位素污染。然而,由于需要核反应堆的使用以及产生放射性样品的要求,其日常应用受到限制。

激光烧蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)使得能够对晶圆进行空间分辨的同位素分析。聚焦的激光束从特定位置烧蚀材料,产生的气溶胶通过ICP-MS分析。空间分辨率为10-50微米,允许在晶圆上绘制同位素变化图,对于识别污染源或过程不均匀性至关重要。该技术的优点在于快速分析和最小的样品准备,但要实现绝对准确性,需要与基体匹配的标准。

对于生产环境,基于拉曼光谱的光学技术在快速、非破坏性筛查中表现出潜力。硅中的声子频率显示出微小但可测量的同位素位移,纯硅28和硅29之间的一级拉曼峰位移约为1 cm^-1。尽管不足以进行微量分析,拉曼可以快速验证大规模的同位素富集并识别显著的污染。

7. 目前哪些公司主导着同位素富集硅的供应链,且新玩家进入的壁垒是什么?

同位素富集硅的供应链由少数几家专业生产商主导,这些公司有着核能和半导体产业的背景。URENCO,最初专注于铀富集,已经将其离心技术用于硅同位素的分离,主要在欧洲的设施中进行。该公司通过其稳定同位素部门可以生产不同富集水平的硅-28,每年可生产数百千克99.9%富集的硅-28。由于其几十年的离心操作经验和现有基础设施,URENCO在这一领域具有显著的竞争优势。

俄罗斯国有企业ROSATOM通过其子公司电化学厂(ECP)也占据了重要地位。位于泽连诺戈尔斯克的这家工厂改造了苏联时期的气体扩散和离心技术,用于稳定同位素的生产。该公司的硅-28生产受益于低廉的能源成本和摊销基础设施,使其能够为大宗订单提供具有竞争力的价格。然而,地缘政治因素和出口限制在近年来限制了它们的市场准入。

日本的日本钢铁工程株式会社也在发展同位素控制硅的生产能力,借助其在半导体行业超纯材料方面的专业技术。该公司的方法侧重于化学纯化,并结合中等同位素富集,主要用于电力电子和量子设备等特定应用。与现有半导体供应链的整合为其质量控制和客户关系提供了优势。

一些较小的专业公司也出现,满足特定市场细分的需求。例如,Isoflex USA提供定制同位素富集服务,可以灵活调整富集水平和数量。它的商业模式主要针对研究用量和特定应用,而非大规模生产。类似地,Trace Sciences International则提供重点在化学纯度和定制规格上的同位素富集材料。

进入同位素富集市场的壁垒是巨大的。生产规模的离心级联的资本需求从1亿到5亿美元不等,开发周期为5到10年。离心技术的专业化意味着关键组件(如高速电机、专用轴承和控制系统)供应商有限。此外,富集技术的双重用途性质会触发出口控制和监管监督,要求获得许可证和安全措施,这增加了成本和复杂性。

技术专长是另一个显著的壁垒。离心级联设计和操作需要在流体动力学、材料科学和过程控制方面的专业知识。为了不同同位素和富集水平优化级联设计既是科学又是艺术,运营经验提供了竞争优势。许多行业的核心人员有着来自核计划的几十年经验,这使得人才池十分有限。

市场动态也有利于现有生产商。当前,高度富集硅-28的市场相对较小,年销售额可能为1000万到5000万美元,使得很难证明进行大规模资本投资的合理性。量子级材料的客户通常要求进行广泛的资格认证流程,这使得有着成熟履历的现有供应商更具优势。需求的不均匀性——特定项目的大宗订单和随后的平静期——也给产能规划和财务稳定性带来了挑战。

替代技术可能会降低进入壁垒。例如,SILEX等公司开发的激光同位素分离技术,可能会降低资本需求并支持小规模生产。然而,这些技术在生产规模上的应用仍未经过充分验证。等离子分离和气动技术在从实验室演示到商业化可行性的过程中面临类似的挑战。

8. 超纯硅在量子计算与其他应用(如电力电子)中的总可寻址市场分别是多少?

超纯硅的总可寻址市场(TAM)涵盖多个应用领域,不仅仅是量子计算,每个应用对纯度的要求和体积需求各不相同。在量子计算中,假设到2035年实现百万量子比特规模,99.99%硅-28的年需求可能达到1,000-5,000千克。以每千克20,000-30,000美元的当前定价来看,这代表了一个每年2,000万至1.5亿美元的市场。然而,这一预测假设量子计算能够实现商业化并且基于硅的解决方案能够占据重要市场份额。

电力电子代表了一个更大的近期市场,需求的是中等富集硅。硅碳化物(SiC)和氮化镓(GaN)正在推动硅电力设备达到其物理极限,而同位素纯硅则有可能延长硅的竞争力。硅-28增强的热导率(150 W/m·K对比自然硅的130 W/m·K)使电力设备具有更好的热散逸能力。对于高性能应用,如电动汽车逆变器和数据中心电源,10-15%的热管理改进可能会使其溢价定价变得合理。

电力电子市场对富集硅的需求在于成本和性能的平衡。如果99%硅-28的价格为每千克1,000美元(相较自然硅溢价500倍),其采用将仅限于卫星电源系统或高频雷达等专业应用。然而,如果通过规模化和工艺改进,将成本降低到每千克100-200美元,可寻址市场将大幅扩大。全球硅电力设备市场超过400亿美元,甚至1%的市场渗透率就能为富集材料创造一个4亿美元的市场。

光子学应用也是一个增长潜力巨大的领域。硅光子学在数据通信中受益于硅-28减少的光吸收和改善的热性能。随着数据中心互连向更高速度和更长距离推进,硅-28的性能优势变得更加重要。预计到2030年,硅光子学市场将达到30-50亿美元,假设高性能组件的采用率为5-10%,则富集基板的年市场可能达到5000万到1亿美元。

专门的科学应用提供了稳定但有限的需求。超纯硅用于中子探测、高能物理实验和计量标准,通常只需小量极纯的材料。这个市场细分虽然对保持生产能力至关重要,但年需求可能低于1000万美元。然而,这些应用往往推动技术发展,进而促进更大市场的应用。

不同市场细分的相互作用创造了市场开发的机会。电力电子应用可能推动规模化和成本降低,使量子计算应用更具经济性。反过来,量子计算对极高纯度的要求推动了技术发展,进而启发新的应用。面向多个细分市场的生产商可以更好地利用产能,抵御单一市场的需求波动。

市场时机对投资者来说至关重要。量子计算市场可能在5-10年内尚未规模化,而电力电子应用可能在2-3年内发展成熟。这表明一种分阶段投资的策略:初期重点关注中等富集的近端应用,随着量子市场的发展,逐步向超纯生产转型。跨越多个纯度等级和应用的公司可能展现出更具韧性的增长前景。

9. 同位素纯化的成本曲线与商业量子计算所需的价格点相比如何?

同位素纯化的成本曲线与富集水平呈指数关系,受到分离热力学和级联经济学的驱动。从自然丰度(92.2% Si-28)到99%的富集需要大约50 SWU/kg,而达到99.99%则需要3,000到5,000 SWU/kg——最后0.99%的纯度增加了100倍。以每SWU $50-100的离心成本计算,从99%到99.99%的生产成本从每千克$5,000上升到$300,000,再加上化学转化和质量控制费用。

商业量子计算必须实现与经典高性能计算相当的成本,以获得广泛的采用。行业分析表明,早期商业化可行性的门槛为每个量子比特$1,000-10,000,向大众市场渗透时则降至每个量子比特$100-1,000。如果每个量子比特需要约1平方毫米的硅面积(包括控制结构),一个300mm的晶圆理论上可以容纳70,000个量子比特。在当前富集硅的每千克$30,000的成本下,衬底成本将为每个量子比特$200-500——对于早期系统来说是可管理的,但对于扩展规模来说具有挑战性。

同位素分离的学习曲线显示出成本降低的潜力。历史数据显示,铀富集每倍增加累计生产量时,成本减少15-20%。如果将类似的学习曲线应用于硅富集,预计在未来10年内,成本可以减少4-8倍。通过技术改进——更高效的离心机、更好的级联优化、降低能耗——还可以进一步降低成本2-3倍。

系统级优化提供了降低同位素纯度成本的途径。硅-绝缘体(SOI)架构只需要薄层(10-100纳米)的富集硅,与大块衬底相比,材料使用减少了1000倍。选择性同位素富集方法,只对活跃的量子比特区域进行超纯硅富集,可以进一步降低成本。即使在当前的富集价格下,这些方法也能将有效的衬底成本降低到每个量子比特$10以下。

价值主张必须考虑衬底之外的总系统成本。低温冷却、控制电子学和封装目前占据量子计算机成本的主导地位,通常每个量子比特的成本超过$100万。基于此,花费每个量子比特$1,000用于同位素纯硅衬底,以获得10倍更好的相干性是合理的经济选择。关键的指标将是每次量子操作的成本,而非每个量子比特的成本——富集硅提供的更长相干时间将提供更多的操作次数。

市场动态可能会导致一个双重成本结构。高级应用——如量子计算机用于加密学、药物发现或金融建模——如果性能提升明显,可以维持更高的材料成本。这些早期采用者为技术发展和规模化提供资金支持。与此同时,大宗应用将使用中等富集水平(99-99.9%),其成本更具可管理性。随着生产规模的扩大和技术的进步,较高纯度等级将变得对更广泛的市场更具可访问性。

成本曲线与性能要求的交集暗示了行业的最佳发展轨迹。近期重点关注99.9%富集,可以平衡性能提升与经济可行性,创造出可持续的需求,推动规模化发展。向99.99%及更高纯度的渐进提升将依赖于市场需求,而非技术驱动。这一演进过程与半导体产业在晶圆尺寸和纯度方面的进展相似——更多由经济驱动,而非最终的技术能力。

10. 硅在量子计算中追求“纯度”是否揭示了材料完美性与计算能力之间的根本关系?这告诉我们关于信息处理的本质什么?

追求硅的同位素纯度揭示了材料秩序与信息处理能力之间的深刻联系。从最基本的层面来看,计算需要可区分的状态,这些状态可以可靠地准备、操作和测量。在硅量子计算中,这些状态是电子自旋的量子叠加,存在于一种微妙的平衡中,任何环境干扰都可能破坏这一平衡。硅-29核的存在会产生随机的磁场,打乱量子信息,这表明计算能力源自无序的缺乏,而非结构的存在。

纯度与计算之间的关系超越了单纯的技术要求。在经典计算中,硅中的缺陷——掺杂原子、晶粒边界、表面状态——通过统计平均和误差范围来管理。每个晶体管中流动着数十亿个电子,使得单个原子级的缺陷在统计上是无关紧要的。量子计算则在相反的极端:每个电子携带信息,单个原子级的缺陷可能摧毁量子态。这一从统计行为到确定性行为的转变揭示了计算在量子尺度上对材料完美性的深度依赖。

“纯度”这一概念本身值得哲学性的审视。我们定义硅-28为“纯”,因为它缺乏核自旋,但这是基于我们的计算需求而做出的任意选择。从自然的角度来看,地壳中92.2%的Si-28、4.7%的Si-29和3.1%的Si-30混合物代表了一种经过数十亿年演化而稳定的平衡。我们推动创建99.9999%硅-28的努力,实际上是人类在理论模型中施加秩序,以便将物质调整为符合我们量子信息的需求。

这种为计算而塑造物质的行为引发了关于自然与人工信息处理之间关系的思考。生物系统在热噪声、化学杂质的环境中执行惊人的计算。DNA复制能够以低于十亿分之一的错误率进行,尽管它在温暖、潮湿的条件下工作,这些条件将立即摧毁量子相干性。这表明信息处理有多种有效的方法,每种方法都适应其特定的物质环境。硅量子计算对极端纯度的需求可能反映了我们当前理论框架的局限性,而非计算的根本需求。

纯化工作随纯度水平呈指数级增长的现象,与物理学和信息理论中的深层模式相呼应。热力学第三定律指出,达到绝对零度需要无限的步骤。类似地,达到绝对的同位素纯度需要无限的分离工作。这一类比暗示了热力学与信息理论极限之间的深刻联系。正如我们可以接近但永远无法达到绝对零度,我们也可以接近但永远无法完美地将量子信息与其环境隔离。

材料完美性与计算能力之间的关系,最终反映了信息的本质。信息本质上是关于可区分性的——即判断一个系统所处的多个可能状态中的哪一个。在经典系统中,热能提供了状态之间清晰的分离。在接近绝对零度的量子系统中,甚至微小的扰动(如核自旋)也可能掩盖状态之间的差异。因此,追求同位素纯度实际上是为了实现最大可区分性,揭示了信息处理本质上是信号与噪声之间的较量,发生在物理现实最深层的层面。

11. 如果量子相干性需要与环境“噪声”的极端隔离,这意味着信息、熵和时间箭头之间的关系是什么?

量子相干性所需的极端隔离揭示了我们对信息和热力学理解中的基本张力。量子信息存在于叠加态中,经典热力学无法正确描述——处于叠加态的量子比特比任何它可能塌缩成的经典状态具有更低的熵。这表明量子信息占据了一个特殊的位置,超出了正常的热力学流动,只有通过与热环境的精确隔离,才能维持这种信息状态,而热环境则推动宇宙向最大熵状态发展。

时间箭头是通过热力学熵增加而产生的,但量子演化本质上是可逆的。薛定谔方程不包含任何优选的时间方向;量子态以单位演化向前和向后发展,具有同等有效性。只有与环境的交互——去相干——才引入不可逆性,并创造了热力学时间箭头。硅-29核自旋破坏量子相干性,因此充当了微小的时钟,标记着信息损失过程中时间的流逝。

这一关系揭示了信息保存和时间反演对称性之间的深刻联系。完美的量子相干性将实现完美的时间反演——可以将量子计算倒退运行以恢复初始状态。每个硅-29核破坏相干性都会创造一个小的不可逆性,一个防止时间反转的棘轮。去除这些杂质所需的指数级努力与热力学过程反转的指数难度相类似。我们无法实现完美的相干性,原因与我们无法将煮熟的蛋重新变回生蛋是一样的。

量子系统与热噪声的隔离创造了减少熵的区域,这看起来似乎违背了热力学第二定律。然而,维持毫开尔文温度所需的制冷在温暖的环境中产生的熵要远远大于在量子系统中减少的熵。全球熵仍在增加,但我们创造了信息可以被保存和一致性处理的局部区域。这些在熵的海洋中的秩序岛屿,代表了人类试图开辟出让量子物理法则(而非经典法则)主导的空间。

量子信息在环境交互下的脆弱性揭示了信息的真实本质——它是一种关系属性,而非内在属性。量子比特的状态只有在与测量基准的关系中才有意义,而测量基准必须与环境纠缠隔离,才能保持良好定义。当硅-29核与量子比特纠缠时,信息不会消失,而是扩展到一个越来越大的系统中。我们所称之为“去相干”实际上是信息的“民主化”——量子相关性的扩散,直到它们变得几乎无法恢复。

这一视角重新定义了追求同位素纯度的目标,视其为创建“时间隔离室”的努力,在这些房间中,量子信息可以在常规热力学时间之外持续存在。在这些室内,将硅-29污染降低到百万分之一,量子态在几秒钟内保持一致——相比热力学时间尺度,这几乎是永恒的。这些相干的口袋允许我们执行在热力学范畴内不可能完成的计算,暗示计算能力来自于暂时悬置熵增加的常规规则的能力。

这种悬置的最终极限与基础物理学息息相关。即使在完美的硅-28中,电磁场的零点波动和引力波也会提供无法消除的去相干。这些基础波动建立了与普朗克尺度物理学相关的最大相干时间,表明量子信息、引力和时空本质之间存在深刻联系。因此,追求越来越纯净的硅实际上成为了对基础物理学的探索。

12. 追求同位素纯度是否代表了一种技术决定论,我们将物质重塑以适应我们的理论模型,而不是根据自然材料调整我们的理论?

创造99.9999%纯硅-28的推动力,体现了现代技术中理论与物质现实之间的一种特殊关系。我们对量子计算的理论模型假设理想的二能级系统,能够完美隔离环境噪声。当自然硅的同位素混合物违反这些假设时,我们选择转变材料,而不是修改理论。这种方法——将自然之物弯曲以符合我们的数学——在西方科学传统中有着深厚的根基,但它也引发了关于量子信息处理的替代路径的问题。

技术历史展示了这一模式的多个例子。半导体工业花费了几十年时间完善硅晶体的生长,以消除导致设备故障的缺陷。我们没有发展出接受不完美的理论,而是创造了越来越完美的晶体。这一方法在经典电子学中取得了巨大成功,使得摩尔定律和数字革命成为可能。问题在于,量子计算是否代表了一个根本不同的范式,其中与自然抗争反而可能适得其反。

量子计算的替代方法表明了与材料缺陷的不同关系。拓扑量子计算尝试以一种天生对局部扰动具有鲁棒性的方法来编码信息。拓扑量子比特并不要求完美的材料,而是利用某些量子态的数学特性提供内建的错误保护。这种方法是调整理论以适应某些类型的无序,而不是完全消除它们。

与生物信息处理的对比尤为突出。生物系统在温暖、嘈杂、化学杂质的环境中执行复杂的计算。进化发现了利用热波动和化学多样性的方法,而不是抑制它们。支撑所有生物功能的蛋白质折叠,在硅量子计算机的超纯、低温环境中是无法实现的。这表明,我们对纯度的执着可能会让我们忽视替代的计算范式。

然而,追求物质完美本身也有其逻辑性和有效性。理论的理解往往需要理想系统来建立基本原理。伽利略的运动定律假设了无摩擦的表面和完美的真空——这些理想化的设定在自然界中并不存在,但却揭示了其中的基本真理。同样,同位素纯硅使我们能够在没有外部干扰的情况下,研究量子相干性最基本的形式。这些理想系统作为基准,并激发了新的理论见解。

半导体“完美范式”的经济和实践成功,创造了强大的路径依赖。数万亿美元的基础设施和几十年的专业知识使得完美硅晶体的创造成为可能。通过为量子计算添加同位素纯化,调整现有工具而非完全革命性地改变这些工具,代表了一步渐进的进展,而非彻底的变革。替代方法——开发全新的理论框架和材料系统——可能需要更长的时间和更多的成本。

更深层次的问题是,追求同位素纯度是否揭示了人类认知与物理现实之间关系的根本性问题。我们的数学模型倾向于简洁、对称和完美——这些特质在自然材料中很少存在。当我们将物质重塑以匹配这些模型时,本质上是在创造数学抽象的物理体现。如果这种方法在量子计算中取得成功,那么它将验证一种柏拉图式的观点——数学形式代表了比混乱物理现实更深的真理。

然而,追求极端纯度的指数成本,暗示了自然对我们强加秩序的抵抗。每增加一个“九”纯度就需要十倍的努力,这表明我们正在与基本的热力学梯度作斗争。这种指数级的抵抗可能是大自然在告诉我们,我们走错了路——量子计算应当接受而非压制材料的复杂性。未来或许属于那些在无序中找到量子优势的路径,而不是为了超越无序而挣扎。

最终思考

超纯硅的故事本质上是关于我们所居住的混乱、概率宇宙与我们希望执行的干净、决定性计算之间的紧张关系。大自然提供给我们“足够好”的硅,这种硅在数十亿年的地质过程中和几十年的经典计算中都能运作良好。然而,如今我们发现自己在细致地去除仅有一个中子差异的原子,花费数百万美元消除百万分之一的杂质。

这一努力揭示了当前人类技术的深刻意义。我们已达到一个阶段,其中原子随机震动——在人类历史上几乎可以忽略的现象——现在限制了我们的计算雄心。我们不是与摩擦或电阻等明显的障碍作斗争,而是与现实自身的量子机械噪声底线作斗争。在尝试构建量子计算机时,我们正在尝试创造一些几乎在自然界之外的极端秩序的口袋,这些口袋几乎只有在太空的冷真空中才能存在。

然而,也许最令人惊叹的方面并非硅本身,而是它使我们得以窥见的东西。在我们 painstakingly 纯化的晶体中,那些短暂的量子相干性时刻,持续仅为几秒钟,提供了进入一个经典物理无法访问的计算领域的窗口。每提高一次纯度——每增加一个“九”——都将量子和经典世界之间的面纱推开得更远。

半导体产业从接受自然硅到要求同位素纯度的转变,反映了人类与自然的关系。我们从适应环境,到在原子层面重塑物质,以符合我们的理论理想。无论这是否代表着人类智慧的最终胜利,或是与热力学不可避免性的堂吉诃德式斗争,还有待观察。

可以肯定的是,超纯硅作为人类创造的最精致物质之一,展现了我们接触到(尽管是短暂的)奇异而美丽的量子领域的能力。在这些具有非凡纯度的晶体中,我们构建了舞台,允许自然展现其最微妙的舞蹈,揭示可能改变我们计算方式、理解信息、现实和我们在宇宙中位置的秘密。

从沙滩沙子到量子基底的旅程仍在继续,推动力是人类大胆的信念:通过完善物质,我们也许能够完善对宇宙本身的理解。

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OMeda成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合)等领域拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。

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来源:OMeda

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