晶圆键合InP on Si-欧洲新项目太赫兹12寸 InP-on-Si 生态系统(SOITEC,ST,IMEC,AIXTRON)

本文分享一个新闻,欧洲组织多家大厂计划开发 最大12寸硅上磷化铟复合衬底及其大批量应用,本次组织了从大尺寸inp外延设备厂龙头aixtron,到复合衬底制备龙头 soitec,到器件的制备top stmicro意法半导体,到后面的设计公司等等 ,阵容豪华。

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当然,现在找小编买不到 12寸的inp-on-si衬底,但是

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晶圆键合--室温下通过表面活化键合法直接键合GaAs-SiC/Si和InP-Si/SIC晶片

                  INP-SIC                                      INP-SI

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我们常见的键合技术 有硅玻璃键合 金金键合,金锡键合,金硅键合,临时键合等等 。但是当我们遇到一些需要低温键合,或者一些特殊材料时,或者应用场景时,上述键合方式很难满足一些特殊场景的应用,

因此科学家提出了表面活化键合技术,这种技术 使键合技术所覆盖的材料范围更加广泛,比如 

GaAs-SiC,InP-Diamond, LN-SiC,Si-Si,GaN-Dlamond,Sl-Diamond,蓝宝石-蓝宝石,金刚石-sic, sic-inp,sic-LN, ic-ga2o3,glass--glass,Si-SiC,Si-GaAs、GaAs- SiC、Si–SiC、SiC–SiC、Ge–Ge  、Al 2 O 3 -Al 2 O 3 ,GaP-InP, GaN-Si、LiNbO 3 -Al 2 O 3 、LiTaO 3 -Si and more(晶体ybyag,ndyvo4,zns,陶瓷,等等)

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扩展的多材料的体系,将键合技术扩大了应用范围

*MEMS传感器             *光子集成电路                   *半导体激光器 

*功率器件                        *3D封装                        *异质集成

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我们为客户提供晶圆(硅晶圆,玻璃晶圆,SOI晶圆,GaAs,蓝宝石,碳化硅(导电,非绝缘),Ga2O3,金刚石,GaN(外延片/衬底)),镀膜方式(PVD,cvd,Ald,PLD)和材料(Au Cu Ag Pt Al Cr Ti Ni Sio2 Tio2 Ti3O5,Ta2O5,ZrO2,TiN,ALN,ZnO,HfO2。。更多材料),键合(石英石英键合,蓝宝石蓝宝石键合)光刻,高精度掩模版,外延,掺杂,电子束直写等产品及加工服务(请找小编领取我们晶圆标品库存列表,为您的科学实验加速。

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由晶圆制造商 Soitec SA 领导的一个为期三年的欧洲研究项目已开始研究用于 6G 电信、传感和光子学电路的硅上 InP。


磷化铟电路本身的工作频率接近或超过 1THz,与硅技术相比,可提供卓越的速度和更高的能效。


该项目由 27 个成员组织和商业公司组成,名为 Move2thz,于 2024 年 6 月 1 日正式启动。该项目的目标是为硅片上磷化铟的生产制定全球标准,并为硅片上的磷化铟创建具有竞争力的设施。InP电路在欧洲量产。

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该项目声称,该标准的创建将允许使用直径 300 毫米的硅晶圆来承载用于传感器、光子学和 6G 电路的 InP 电路。这将减少大容量 InP 晶圆的使用,最大限度地减少 InP 的使用,并减少该技术的生态足迹。

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该项目预算为4067万欧元(约合4500万美元),其中欧盟出资1196万欧元(约合1320万美元)。项目2024年6月1号开始,持续3年,法国、瑞士、德国、瑞典、荷兰和比利时政府也提供了补充资金。该计划旨在打造覆盖全价值链的技术平台及相关生态系统。

潜在应用范围从数据中心和人工智能的光子学到用于 6G 移动通信、亚太赫兹雷达传感等的射频前端和集成天线。

Soitec 的 Smartcut 技术用于绝缘体上硅晶圆,是生产 InP-on-Si 晶圆的起点。

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关于我们:

OMeda成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合)等领域拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验,为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务

中国(上海)自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室 电话:+86 188 233 40140 邮箱:jing.chen@omeda-optics.com

来源:OMeda

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OMeda(上海奥麦达微)成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合,键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学,激光器,光子集成电路,Micro LED,功率器件等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验,为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务。

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