pztoi晶圆
PZT薄膜是一种具有超强电光效应的材料，其电光系数是LiNbO3的6倍。同时，PZT还具有非线性效应、声光效应和压电效应。
应用：电光调制器，光开关，光陀螺仪，声光器件，光学MEMS
晶圆尺寸：4英寸 6英寸 8英寸
PZT：300nm或其他厚度
SiO2：2μm/5μm或其他厚度
Si：525μm
加工服务：
* 提供器件刻蚀代工 * 提供极化代工或整套极化设备与工艺* 提供光电芯片设计服务
应用案例：
微环调制器（Ring Modulator)
纳米谐振腔（Nanobeam)
MZ调制器（MZ Modulator)
参考文献：
1. APL Photonics 9, 066111 (2024)
2. Optics Letters 49(22), 6353 (2024)
3. Communications Materials 5, 114 (2024)
4. ACS Photonics 12(2), 1015 (2015)
