PZTOI/PLZTOI锆钛酸盐薄膜晶圆
PZT薄膜是一种具有超强电光效应的材料，其电光系数是LiNbO3的6倍。同时，PZT还具有非线性效应、声光效应和压电效应。
如果您对PZT锆钛酸铅薄膜材料的应用及性能还没有一个很清晰的认知，我们推荐您先阅读下述论文，当您阅读完将会对他有一个清晰的了解。
200 GBd Electro-optic PLZT Modulator
Integrated electro-optic modulator on lead zirconate
Highly efficient lead zirconate titanate ring modulator
Photonic integration based on a ferroelectric thin film platform
Broadband PZT electro-optic modulator
Light Modulation in Silicon Photonics by PZT Actuated Acoustic Waves
PZT photonic materials and devices platform
应用：电光调制器，光开关，光陀螺仪，声光器件，光学MEMS
晶圆尺寸：4英寸 6英寸 8英寸
PZT：300nm或其他厚度
SiO2：2μm/5μm或其他厚度
Si：525μm
其他问题：
Q1. PZT薄膜具有明确的取向吗，比如面外200方向
R：PZT在面内是各项同性的
Q2:我们提供图纸制造PZT调制器，需要考虑方向吗，比如电极方向与晶体的方向，还是说方向都是等效的，只需要在测试前施加电场极化后，再加信号调制都能提取到电光系数
R:电光效应和极化方向一致,电光效应和施加现场方向一致（即极化方向一致）,极化装置可以参考此文章“电光聚合物的极化”
Q3:PZT薄膜材料后期处理可以承受其他材料生长的高温嘛，比如四五百度
R:可以耐热到600℃，但怕酸性溶液、气体
Q4:200pmvPLZT薄膜晶圆的介电常数和100pmvPZTOi晶圆的介电常数分别是多少？
R4:低频在700左右，高频在几十
Q5：PZTOI晶圆的切割问题？
R5:普通的刀轮切割方式即可
加工服务：
* 提供器件刻蚀代工 * 提供极化代工或整套极化设备与工艺* 提供光电芯片设计服务
